半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機

產(chǎn)品型號：AWL系列

簡(jiǎn)要描述：SOPTOP AWL 系列半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機是由高精度光學(xué)檢測顯微鏡搭載全自動(dòng)晶圓搬運系統組成，支持4-12寸的晶圓尺寸，可輕松實(shí)現多角度、全視野的宏觀(guān)檢查、以及晶圓微觀(guān)細節的高清捕捉，可對半導體過(guò)程工藝中的關(guān)鍵參數、缺陷問(wèn)題進(jìn)行有效監控，是晶圓來(lái)料檢測和工藝控制流程缺陷分析的高效利器。

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有效保修
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品牌	SOPTOP/舜宇

AWL系列半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機，兼具穩定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查

一個(gè)晶圓在經(jīng)過(guò)一系列復雜工序后最終變成多個(gè)IC單元，期間晶圓需要依賴(lài)搬運機在處理站之間執行快速、精確的傳送作業(yè)。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過(guò)程中損壞，而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污、缺陷等。

SOPTOP擁有AWL046、AWL068、AWL812三種機型，多類(lèi)配置，分別可適用于 4/6 英寸，6/8英寸、8/12英寸的晶圓檢測，適應范圍廣、搭配靈活。

AWL系列半導體晶圓缺陷檢測/國產(chǎn)晶圓搬運機可自由設置的檢查模式，充分符合人機工程學(xué)設計，操作舒適、簡(jiǎn)便。

360°宏觀(guān)檢查

AWL系列具有宏觀(guān)檢查手臂，可以實(shí)現晶面宏觀(guān)檢查、晶背宏觀(guān)檢查 1 的 360°旋轉，更為容易發(fā)現傷痕和微塵。通過(guò)操作桿可隨意將晶圓傾斜觀(guān)察。晶面最大傾斜角度70°，晶背 1 最大傾斜角度 90°，晶背 2最大傾斜角度 160°，利用旋轉功能、傾斜角度，可以目視檢查整個(gè)晶圓正反面及邊緣。