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更新日期:2025-03-24
型號:AWL系列
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
晶圓缺陷光學(xué)檢測設備是由高精度光學(xué)檢測顯微鏡搭載全自動(dòng)晶圓搬運系統組成,支持4-12寸的晶圓尺寸,可輕松實(shí)現多角度、全視野的宏觀(guān)檢查、以及晶圓微觀(guān)細節的高清捕捉,可對半導體過(guò)程工藝中的關(guān)鍵參數、缺陷問(wèn)題進(jìn)行有效監控,是晶圓來(lái)料檢測和工藝控制流程缺陷分析的高效利器。
更新日期:2025-03-25
型號:
廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
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